华力微电子申请晶圆清洗方法和装置专利，防止清洗反面的图形结构产生坍塌
创始人
2026-01-01 09:08:50
0次
国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司申请一项名为“晶圆清洗方法和装置”的专利，公开号CN121237633A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆清洗方法包括：提供晶圆，晶圆的清洗反面具有图形结构。将晶圆放置在清洗腔的卡盘上，设置清洗反面和卡盘的表面之间的第一距离。流动保护气体设置保护气体的第一流量。从清洗面的上方通入清洗液实现晶圆清洗。第一流量的大小按照清洗液不从晶圆的边缘倒流到清洗反面的要求进行设置。第一距离根据第一流量的保护气体在清洗反面上形成的第一压力进行设置，第一压力小于使图形结构产生坍塌的最小压力值，在第一流量固定的条件下，第一距离越大，第一压力值越小。本发明还公开了一种晶圆清洗装置。本发明能防止清洗反面的图形结构产生坍塌同时避免清洗面的清洗液倒流到清洗反面并从而避免对晶圆边缘产生侵蚀。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
海明晖电子取得电炊具开关电源滤...
国家知识产权局信息显示，广东海明晖电子科技有限公司取得一项名为“一种电炊具开关电源滤波电路”的专利，...
星程电子取得紧急刹车警示灯专利...
国家知识产权局信息显示，嘉兴星程电子有限公司取得一项名为“一种紧急刹车警示灯”的专利，授权公告号CN...
西门子申请用于监视开关设备接通...
国家知识产权局信息显示，西门子股份公司申请一项名为“用于监视开关设备的接通特性的方法”的专利，公开号...
广州追光申请聚合物合成方法专利...
国家知识产权局信息显示，广州追光科技有限公司申请一项名为“一种聚合物及其合成方法与应用”的专利，公开...
防爆型开关
这是(xiexinke79)整理的信息，希望能帮助到大家 防爆型开关是一种特殊的电气装置，用于在可能...
健信超导（688805）12月...
证券之星消息，截至2025年12月31日收盘，健信超导(688805)报收于42.14元，下跌2.2...
群创光电申请电子装置专利，提升...
国家知识产权局信息显示，群创光电股份有限公司申请一项名为“电子装置”的专利，公开号CN1212404...
视骁科技申请电压调整电路专利，...
国家知识产权局信息显示，广州视骁科技有限公司申请一项名为“一种电压调整电路及电路板”的专利，公开号C...
华力微电子申请晶圆清洗方法和装...
国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司申请一项名为“晶圆清洗方法和装置”的专利，公开号CN1...
【华虹半导体：拟以82.7亿元...
【华虹半导体：拟以82.7亿元人民币收购华力微电子股权】华虹半导体港交所公告，拟通过发行股份的方式收...