杭州欧诺半导体申请晶圆加工用混合工艺高效双腔炉管专利，提高生产效率
创始人
2025-07-18 16:39:35
0次
金融界2025年7月18日消息，国家知识产权局信息显示，杭州欧诺半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆加工用混合工艺高效双腔炉管”的专利，公开号CN120341137A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆加工用混合工艺高效双腔炉管，涉及晶圆加工技术领域，其中，晶圆加工用混合工艺高效双腔炉管，包括机体与传送结构；本发明的技术方案通过并列设置第一工艺腔体与第二工艺腔体，且分别在第一工艺腔体内设置第一工艺加工装置以及第二工艺腔体内设置第二工艺加工装置，以此使得双腔结构的炉管实现不同工艺步骤，而将升降组件与机械臂组设置在晶圆存储部以及第一工艺腔体与第二工艺腔体之间，以便于机械臂组能够实现第一工艺加工装置、第二工艺加工装置与晶圆存储部之间晶圆的高效循环，以此解决了双腔结构炉管的两种加工工艺的连续转换，提高生产效率。
天眼查资料显示，杭州欧诺半导体设备有限公司，成立于2023年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7500万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州欧诺半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息1条，专利信息10条。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
原创 谁...
当特朗普在社交媒体上咆哮着对中国加征100%关税时，他或许没想到，中方的反击会如此迅速而精准。短短4...
IPO雷达｜劳动用工缺口大？赛...
10月13日，江阴市赛英电子股份有限公司（简称“赛英电子”“发行人”）在北交所更新上市申请审核动态，...
vivo推出X300系列：天玑...
10月13日晚，vivo推出了X300系列智能手机，该系列共有vivo X300以及vivo X30...
半日主力资金丨加仓银行板块 抛...
主力资金早间净流入银行、食品饮料、钢铁、公用事业、电力设备、煤炭等板块，净流出电子、有色金属、计算机...
三星预计迎来三年多最高季度利润...
10月14日消息，据路透社报道，三星电子(005930.KS)周二预计第三季度营业利润将较去年同期增...
联合光电：10月13日融资净买...
证券之星消息，10月13日，联合光电（300691）融资买入2235.69万元，融资偿还1904.3...
中国半导体行业协会：对闻泰科技...
10月14日，中国半导体行业协会发布声明称，协会会员企业闻泰科技近日在荷兰的分支机构安世半导体（Ne...
OpenAI、博通等企业：合作...
【周一财经要闻：OpenAI等多家公司有新动态】周一晚间，OpenAI与博通发布公告，将合作开发10...
安规电容和普通电容的区别
家里用的电器，比如电视、电脑、充电器有个重要的电子元件，可别看它小，但在电器中起到重要作用，除了电视...
588750.SH：资金榜丨居...
10月13日，科创芯片50ETF（588750）报收1.69元，收涨2.61%，成交金额4.22亿元...