荣耀半导体取得扩晶环盒及扩晶环承载装置专利,提升扩晶环盒密封效果
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2025-08-18 11:23:38
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金融界2025年8月18日消息,国家知识产权局信息显示,荣耀半导体材料(嘉善)有限公司取得一项名为“一种扩晶环盒及扩晶环承载装置”的专利,授权公告号CN223230322U,申请日期为2024年10月。

专利摘要显示,本申请提供一种扩晶环盒及扩晶环承载装置,涉及半导体存储技术领域,扩晶环盒包括分别注塑成型的上盖和下盖,通过注塑成型的工艺,可以确保上盖、下盖的形状精度和结构一致性,从而提高扩晶环盒的质量和可靠性。上盖与下盖盖合以形成用于容置扩晶环的容置腔,在上盖设置有第一环形凸起,第一环形凸起位于容置腔的外周,以确保容置腔的空间完整性,避免影响扩晶环的放置和保护。在下盖设置有与第一环形凸起配合的第一环形凹槽,当上盖与下盖盖合时,第一环形凸起能够精准插入下盖的第一环形凹槽,形成密封连接。这种插接式的密封设计可以提升扩晶环盒的密封效果,有效阻挡外界污染物进入容置腔,防止晶圆受到污染,提升晶圆的洁净度和加工质量。

天眼查资料显示,荣耀半导体材料(嘉善)有限公司,成立于2021年,位于嘉兴市,是一家以从事橡胶和塑料制品业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,荣耀半导体材料(嘉善)有限公司参与招投标项目1次,专利信息40条。

来源:金融界

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