宝丰堂半导体申请用于半导体晶片的等离子蚀刻装置专利，防止半导体晶片清洁过程二次污染
创始人
2025-07-02 12:09:52
0次
金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，珠海宝丰堂半导体股份有限公司申请一项名为“一种用于半导体晶片的等离子蚀刻装置”的专利，公开号CN120237065A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体晶片加工技术领域，具体为一种用于半导体晶片的等离子蚀刻装置，包括底板以及固定安装在其顶部的装置本体，装置本体的侧面固定安装有密封罩，密封罩的内部设置有驱动电机，驱动电机的输出端固定安装有用于承载半导体晶片的放置板，放置板的上方设置有用于清洁半导体晶片的清理机构；控制气缸的伸出端收缩至最短，使得活塞上滑至进料管输出端上方，氧气等离子体从第一喷管和第二喷管的输出端喷出，再开启驱动电机运转，使得半导体晶片发生旋转，通过第二喷管对半导体晶片的侧面吹氧气等离子体，助于改善清洁过程中产生的挥发性副产物的排出，防止二次污染，同时更好地清洁半导体晶片的侧壁，减少侧壁沉积。
天眼查资料显示，珠海宝丰堂半导体股份有限公司，成立于2006年，位于珠海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本4938万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海宝丰堂半导体股份有限公司参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息48条，此外企业还拥有行政许可19个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
飞凯材料：已无PCB相关材料
金融界7月3日消息，有投资者在互动平台向飞凯材料提问：董秘你好，公司有生产PCB所需的材料吗，谢谢。...
快讯|腾讯游戏发起暑期未保行动...
7月3日，腾讯游戏启动“2025年暑期未成年人保护专项行动”，在严格落实防沉迷规定的基础上，聚焦家庭...
一站式覆盖多元需求，迈巨微推出...
前言 近年来，新能源汽车和大规模储能市场的快速发展，电池包的安全与可靠性已成为行业关注的重点。而随...
西部超导：7月2日融券卖出77...
证券之星消息，7月2日，西部超导（688122）融资买入2439.95万元，融资偿还3172.15万...
PCB概念发力走高，博敏电子、...
PCB概念3日盘中发力走高，截至发稿，金禄电子涨超10%，博敏电子、金安国纪、大为股份涨停，鹏鼎控股...
TLV1117LV18DCYR...
TLV1117LV 的说明 TLV1117LV 低压降 (LDO) 线性稳压器是普及型 TLV111...
通茂电子取得30KW直流电源模...
金融界2025年7月3日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市通茂电子有限公司取得一项名为“一种30K...
南都电源：公司与比亚迪在锂回收...
每经AI快讯，7月3日，南都电源在互动平台表示，公司与比亚迪在锂回收业务方面有合作。 每日经济新闻
科博达取得针对输入端有极性电源...
金融界2025年7月3日消息，国家知识产权局信息显示，科博达技术股份有限公司;浙江科博达工业有限公司...
半导体设备ETF：7月2日融资...
证券之星消息，7月2日，半导体设备ETF（561980）融资买入331.83万元，融资偿还182.3...