盛美半导体申请基板升降机构及基板处理装置专利,降低基板掉落的风险
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2026-03-21 12:41:55
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国家知识产权局信息显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司;盛帷半导体设备(上海)有限公司申请一项名为“基板升降机构及基板处理装置”的专利,公开号CN121693034A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本申请公开了一种基板升降机构及基板处理装置。该基板升降机构包括:固定板,具有相对设置的第一侧面和第二侧面;第一支撑组件,可升降设置于第一侧面,用于支撑和带动基板升降;第二支撑组件,可升降设置于第一侧面,用于支撑和带动基板升降,且第一支撑组件和第二支撑组件被构造为具有同一对称面;驱动组件,用于驱动第二支撑组件升降;第一连杆组件,设置于第二侧面,第一连杆组件包括第一铰接轴和第二铰接轴,第一铰接轴与第二支撑组件铰接连接,第二铰接轴与第一支撑组件铰接连接;导滑板,设置于第二侧面,与第一连杆组件相配合。本申请提升了基板升降机构的可靠性,降低基板掉落的风险。

天眼查资料显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司,成立于2005年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本48016.4789万人民币。通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目175次,财产线索方面有商标信息27条,专利信息681条,此外企业还拥有行政许可31个。

盛帷半导体设备(上海)有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本162234.85万人民币。通过天眼查大数据分析,盛帷半导体设备(上海)有限公司参与招投标项目7次,专利信息55条,此外企业还拥有行政许可91个。

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来源:市场资讯

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