南京芯干线申请一种双沟槽功率器件及其制备方法专利，具有良好的开关特性
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2025-07-19 13:37:24
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金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，南京芯干线科技有限公司申请一项名为“一种双沟槽功率器件及其制备方法”的专利，公开号CN120343954A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明属于半导体器件技术领域，涉及一种双沟槽功率器件及其制备方法，包括外延片、源极沟槽、栅极沟槽、第一金属接触孔、隔离氧化层和金属层。外延片上有多个分立设置的第一沟槽，相邻两个第一沟槽之间有第二沟槽；其中，相邻第一沟槽和第二沟槽之间有MESA区。源极沟槽设置在第一沟槽内，其上表面低于MESA区的上表面。栅极沟槽设置在第二沟槽内。第一金属接触孔设置在第一沟槽内的源极沟槽上表面，其底部延伸至源极沟槽内的源极多晶硅层，其侧壁与第一沟槽侧壁的MESA区内的源区相接触。隔离氧化层设置在MESA区和栅极沟槽上表面。金属层设置在隔离氧化层和第一金属接触孔上表面。
天眼查资料显示，南京芯干线科技有限公司，成立于2020年，位于南京市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本211.8227万人民币。通过天眼查大数据分析，南京芯干线科技有限公司共对外投资了5家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息65条，此外企业还拥有行政许可17个。
来源：金融界
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