北方华创申请半导体工艺设备及其旋转进气装置专利，适用于多路气体的复杂工艺情况
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2025-08-02 13:41:25
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金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其旋转进气装置”的专利，公开号CN120400982A，申请日期为2024年02月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺设备及其旋转进气装置。旋转进气装置包括转轴、套设于转轴外的壳体以及设置于转轴和壳体之间的密封组件；转轴内设置有相互隔离的多条气体通道，壳体设置有多个进气通道，进气通道用于向气体通道提供气体；转轴和壳体之间形成有第一筒形间隙，密封组件包括沿转轴的轴向依次且间隔设置的多个第一环形密封结构，以将第一筒形间隙分隔成多个环形子空间，一一对应地与多个气体通道连通，以使得转轴在转动时能够向外提供相互独立的多路气体，可以适用于多路气体的复杂工艺情况。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1105次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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