格科半导体申请一种图像传感器的制备方法以及图像传感器专利，避免硅基副产物后续对衬底表面造成不利影响
创始人
2025-08-06 20:39:45
0次
金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种图像传感器的制备方法以及图像传感器”的专利，公开号CN120435077A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明公开了一种图像传感器的制备方法以及图像传感器。包括：步骤S1，提供一晶圆，晶圆包括衬底，以及自下而上依次形成在衬底上方的垫氧化层、第一掩膜层和第二掩膜层，第一掩膜层为含碳基材料层，第二掩膜层为含硅基材料层；步骤S2，通入刻蚀气体和清洁气体，依次刻蚀第二掩膜层、以及第一掩膜层至预设深度，形成第一开口；清洁气体包括含氟气体，用于清除在刻蚀形成第一开口的过程中产生的硅基副产物；步骤S3，去除剩余的第二掩膜层；步骤S4，刻蚀第一开口底部的第一掩膜层，直至暴露垫氧化层，在第一掩膜层内形成第二开口。
天眼查资料显示，格科半导体（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本450000万人民币。通过天眼查大数据分析，格科半导体（上海）有限公司参与招投标项目21次，专利信息111条，此外企业还拥有行政许可89个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
工信部：全面推广增值电信业务经...
央广网北京10月11日消息（记者 黄昂瑾）日前，工业和信息化部发布通知，为深入贯彻落实国务院关于“高...
移路有AI｜看点十足！2025...
当碳基生命的创造力与硅基生命的智慧力深度融合，将迸发出怎样的“AI+”可能？ 2025年10月10日...
临海市梁壹炫电子商务有限公司成...
天眼查App显示，近日，临海市梁壹炫电子商务有限公司成立，法定代表人为梁壹炫，注册资本5万人民币，经...
川仪股份中标：中石化石油化工科...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据中石化石油化工科学研究院有限公司10月8日发布...
上海正推动中国聚变能源有限公司...
格隆汇10月11日｜据上海市政府新闻发布会消息，在可控核聚变领域，上海正推动中国聚变能源有限公司在上...
电压可调电源的电压调节分辨率提...
在高压电源应用领域，电压调节分辨率直接决定精密测试、半导体晶圆制造等场景的工艺精度。例如，高压电容漏...
半导体ETF收跌超5.7%
每经AI快讯，周五（10月10日），半导体ETF收跌5.76%，区域银行ETF、科技行业ETF、全球...
【ESG动态】奥拓电子（002...
日前，华证指数公布了新一期（2025年7月31日）的ESG评级结果，奥拓电子（002587.SZ）获...
埃科光电（688610）10月...
证券之星消息，截至2025年10月10日收盘，埃科光电(688610)报收于71.89元，下跌5.6...
上海芯车汇科电子科技有限公司成...
天眼查App显示，近日，上海芯车汇科电子科技有限公司成立，法定代表人为曹阳，注册资本100万人民币，...