华虹半导体申请半导体结构及其形成方法专利,实现对阻挡层位置的精准定位
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2025-08-16 17:40:31
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金融界2025年8月16日消息,国家知识产权局信息显示,华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN120497247A,申请日期为2025年06月。

专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,包括:衬底;第一层间介质层,所述第一层间介质层位于所述衬底上;金属结构,所述金属结构位于所述第一层间介质层内;凹陷部,所述凹陷部位于所述金属结构顶部表面;阻挡层,所述阻挡层位于所述凹陷部内,且所述阻挡层覆盖所述金属结构顶部。所述凹陷部形成于所述金属结构的顶部表面,在所述凹陷部内形成阻挡层,使得所述阻挡层能够覆盖在所述金属结构顶部,实现对所述阻挡层的位置的精准定位。此外,在阻挡层的隔离作用下,能够将所述金属结构与外界环境隔离,避免后续工艺中对所述金属结构的反应,保证金属结构完整性,使得金属结构能够精确地连接至后续的通孔结构。

天眼查资料显示,华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目375次,专利信息64条,此外企业还拥有行政许可227个。

来源:金融界

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