五方光电公布“一种旋涂治具及方法”专利
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2025-09-20 22:03:41
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天眼查APP显示，近日，湖北五方光电股份有限公司申请的“一种旋涂治具及方法”专利公布。 摘要显示，本发明属于薄膜旋涂技术领域，且公开了一种旋涂治具及方法，包括转杆，所述转杆底部开设有安装槽，所述安装槽外接旋转驱动设备，还包括支撑机构，所述支撑机构位于转杆的上方，角点固定机构，所述转杆和支撑机构共同连接有角点固定机构，其中，所述角点固定机构包括分支夹持件和精调组件，本发明通过设置移动板、滑槽板和限位滑块等结构的配合，有利于镜片定位的接触面积减小及其受力均匀性，角点固定机构通过在镜片边缘的四个角点施加固定挤压力，避免了与镜片中心区域的直接接触，显著减少了装置与镜片表面的接触面积，从而降低了因接触导致的划痕和污渍，同时每个角点都有双向分支作为点作为辅助支撑，增加了镜片定位的稳定性。
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