应用材料申请具有整合的光学传感器的模块化微波源专利，公开一种半导体处理工具
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2025-06-25 11:08:50
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金融界2025年6月25日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“具有整合的光学传感器的模块化微波源”的专利，公开号CN120202525A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本文公开的实施方式包括一种半导体处理工具。在实施方式中，半导体处理工具包括腔室，以及盖，所述盖被配置为密封所述腔室。在实施方式中，穿过所述盖提供模块化微波等离子体施加器，并且穿过所述盖并邻近所述模块化微波等离子体源提供光学端口。在实施方式中，将销插入所述光学端口中。
来源：金融界
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