蓝宝石衬底二硫化钼（MoS₂） CVD二维薄膜_厂商动态

蓝宝石衬底二硫化钼（MoS₂） CVD二维薄膜

创始人

2025-06-26 18:10:07

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蓝宝石衬底二硫化钼（MoS₂）

蓝宝石（Al₂O₃）衬底因其高温稳定性、机械强度强、电绝缘性好以及晶格结构相对稳定，成为CVD法生长二维材料如二硫化钼（MoS₂）的理想衬底。MoS₂是一种典型的过渡金属二硫化物（TMDs），具有层状结构，单层为三原子结构（S-Mo-S），各层间由范德华力相连。在蓝宝石衬底上外延生长的MoS₂薄膜通常具有良好的单晶性和高质量的二维特性。

蓝宝石具有六方晶系，c面取向的蓝宝石衬底晶格与MoS₂匹配度较高，利于实现单晶或大晶粒的MoS₂单层膜外延。CVD生长过程中常以MoO₃和硫粉为前驱体，在高温下反应生成MoS₂，并沉积于蓝宝石表面。控制升温速率、气流速率和反应时间，可得到均匀性好、晶粒大、层数可控的MoS₂薄膜。

该种异质结构材料广泛应用于光电子器件、晶体管、柔性电子和非线性光学等领域。与SiO₂/Si衬底相比，蓝宝石更有助于形成更质量的单层MoS₂，表现出更优良的电子迁移率和光致发光性能，是高性能二维电子器件和传感器制备的基础。

厚度（可订制）

0.3-0.9nm（近似单层）；1-1.5 nm（近似两层）

1.6-3nm（近似少层）；3nm以上（多层）

产地：西安瑞禧生物

包装：片装

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