中芯宁波申请应用于半导体设备的监测系统及半导体设备专利，减少光损失，相应提高光参数的准确性
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2025-11-24 19:07:40
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国家知识产权局信息显示，中芯集成电路（宁波）有限公司申请一项名为“应用于半导体设备的监测系统及半导体设备”的专利，公开号CN 120998826 A，申请日期为2025年9月。专利摘要显示，一种应用于半导体设备的监测系统及半导体设备，半导体设备包括光源，监测系统包括：导光元件，用于传输光源发出的光束，导光元件具有输入端与输出端，输入端用于接收光束；光电探测器，具有探测口，探测口与导光元件的输出端连接光电探测器用于将来自导光元件的光信号转换为电信号；处理装置，用于基于电信号获得光源的光参数。导光元件有利于在光的传输过程中对光起到约束作用，从而减少光损失，相应提高光参数的准确性；处理装置基于光电探测器产生的电信号获得光源的光参数，有利于实现实时监测光源光参数，便于工作人员根据工艺需求及时调整光参数，从而有利于提高半导体设备的可靠性。
天眼查资料显示，中芯集成电路（宁波）有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本473304.347718万人民币。通过天眼查大数据分析，中芯集成电路（宁波）有限公司参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息480条，此外企业还拥有行政许可22个。
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来源：市场资讯
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