荣芯半导体申请激光熔丝结构及其制造方法专利,具有更高的熔断成功率
创始人
2025-06-28 12:10:01
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金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,荣芯半导体(宁波)有限公司申请一项名为“一种激光熔丝结构及其制造方法”的专利,公开号CN120221536A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,一种激光熔丝结构及其制造方法,该方法包括:提供衬底;在衬底上形成熔丝金属层,熔丝金属层包括引线部和熔断部;形成覆盖熔丝金属层的第一介电层;在第一介电层上形成刻蚀停止层,刻蚀停止层位于熔断部上方;在第一介电层和刻蚀停止层上形成第二介电层;形成导电柱和顶部金属层;形成覆盖顶部金属层的第三介电层;对第三介电层执行第一刻蚀工艺,以形成露出刻蚀停止层的开口,开口的底部的宽度大于刻蚀停止层的宽度;对开口的底部露出的介电层执行第二刻蚀工艺,以使得开口的底部中间凸起;去除刻蚀停止层。

天眼查资料显示,荣芯半导体(宁波)有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41452.2292万人民币。通过天眼查大数据分析,荣芯半导体(宁波)有限公司共对外投资了4家企业,财产线索方面有商标信息15条,专利信息34条。

来源:金融界

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