集材汇智申请材料表面电阻测量系统及方法专利，解决特定固体材料表面电阻难以测量且手持测量不准确的问题
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2025-12-04 20:05:48
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国家知识产权局信息显示，上海集材汇智集成电路技术有限公司申请一项名为“一种材料表面电阻测量系统及材料表面电阻测量方法”的专利，公开号CN121049578A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本发明提供一种材料表面电阻测量系统及材料表面电阻测量方法，包括：夹臂、测量器、调节机构以及压力感应装置；夹臂的第一端连接调节机构，第二端夹持测量器的测量杆，基于调节机构调节夹持测量器的位置，进而使得测量杆以预设角度和预设力度接触材料表面的待测位置；测量器包括测量杆，将测量杆接触待测位置，得到待测位置的电阻值；压力感应装置的上表面放置有待测样品，用于检测待测样品的测量力度。本发明用于解决形状不规则、内部构造复杂、体积较大、与晶圆接触的面积较小的晶圆盒等固体材料表面电阻难以测量且手持测量不准确的问题。
天眼查资料显示，上海集材汇智集成电路技术有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集材汇智集成电路技术有限公司参与招投标项目73次，专利信息3条，此外企业还拥有行政许可9个。
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来源：市场资讯
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