上海新毅东半导体申请一种对准装置和掩膜版对准系统专利，提高对准精度
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2025-12-04 22:37:16
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国家知识产权局信息显示，上海新毅东半导体科技有限公司申请一项名为“一种对准装置和掩膜版对准系统”的专利，公开号CN 121050193 A，申请日期为2025年10月。专利摘要显示，本申请提供一种对准装置和掩膜版对准系统，涉及半导体技术领域，包括基板，基板上设置有反射镜组件、固定镜头组件、粗对准组件、精对准组件和相机组件，反射镜组件、固定镜头组件、粗对准组件和相机组件用于形成粗对准光路，反射镜组件、固定镜头组件、精对准组件和相机组件用于形成精对准光路；在粗对准光路中，待对准工件的光线入射反射镜组件后反射至固定镜头组件，经粗对准组件和相机组件后用于实现粗对准；切换至精对准光路时，光线入射反射镜组件后反射至固定镜头组件，经精对准组件和相机组件后用于实现精对准。粗对准光路和精对准光路共用相机组件，提高对准精度，简化结构和空间布局的复杂度；减轻整机环境控制的压力，降低物料成本。
天眼查资料显示，上海新毅东半导体科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新毅东半导体科技有限公司参与招投标项目1次，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可3个。
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来源：市场资讯
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