中芯国际取得应用于半导体设备的喷嘴清洁装置和半导体设备系统专利，清洗耗时短且设备开销小_厂商动态

中芯国际取得应用于半导体设备的喷嘴清洁装置和半导体设备系统专利，清洗耗时短且设备开销小

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2026-01-10 23:07:40

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国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为“应用于半导体设备的喷嘴清洁装置和半导体设备系统”的专利，授权公告号CN223775160U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种应用于半导体设备的喷嘴清洁装置和半导体设备系统，该喷嘴清洁装置包括防溅射组件，所述防溅射组件设有容纳腔，所述容纳腔用于至少容纳待清洁的多个喷嘴；清洁组件，所述清洁组件包括喷头和辅助清洁单元，所述喷头与所述辅助清洁单元通过管道连接，所述喷头的头部至少部分伸入所述容纳腔内；其中，所述辅助清洁单元被配置为通过所述管道给所述喷头输送用于清洁所述多个喷嘴的清洁对象，所述喷头被配置为面向所述多个喷嘴喷射所述清洁对象。本实用新型的喷嘴清洁装置的清洗耗时短且设备开销小。

天眼查资料显示，中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司，成立于2008年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本241500万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司参与招投标项目187次，专利信息51条，此外企业还拥有行政许可169个。

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目129次，财产线索方面有商标信息150条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可446个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业制造投资中芯国际半导体喷嘴喷头设备集成电路专利中芯

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