国家知识产权局信息显示,意法半导体国际公司申请一项名为“体声波滤波器”的专利,公开号CN121367476A,申请日期为2025年7月。
专利摘要显示,本公开提供了一种体声波滤波器。示例体声波滤波器在半导体基板中和半导体基板上形成。该滤波器包括:埋入半导体基板中的气腔;以及与气腔对齐形成的至少一个谐振器,谐振器包括夹在底部电极和顶部电极之间的有源层。
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