北方集成电路技术创新中心取得晶舟及半导体设备专利，有利于提高产品良率
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2026-01-27 21:50:43
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国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司取得一项名为“晶舟及半导体设备”的专利，授权公告号CN223844234U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型实施例提供一种晶舟及半导体设备，所述晶舟中的第一喷气孔位于至少部分所述支撑脚之间的所述支撑柱上，且所述第一喷气孔用于朝向所述晶圆设置，从而在对晶舟中的晶圆进行工艺处理的过程中，工艺气体通过至少部分所述支撑脚之间的第一喷气孔喷射在所述晶圆上，来补偿支撑柱附近膜层过薄或过厚的情况，使得晶圆在支撑柱处薄膜的厚度与晶圆中心处薄膜的厚度易相同，且使得晶圆边缘处薄膜的厚度易相同，降低了制程控制的难度，有利于提高产品良率。
天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息525条，此外企业还拥有行政许可125个。
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