博顿光电申请离子束溅射调控方法专利，提高使用性能和适用性_厂商动态

博顿光电申请离子束溅射调控方法专利，提高使用性能和适用性

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2026-02-07 16:14:34

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国家知识产权局信息显示，佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请一项名为“一种离子束溅射的调控方法”的专利，公开号CN121472800A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供了一种离子束溅射的调控方法，包括以下步骤：在靶端配置偏置压；当前成膜应力偏置压配置为补偿离子源的束压；根据离子源栅网的使用状态以及目标成膜速率，配置当前成膜应力束压与当前成膜应力偏置压的常态运行值；获取当前成膜速率和当前成膜应力；若当前成膜速率低于第一速率阈值或高于第二速率阈值，和/或，若当前成膜应力低于第一应力阈值或高于第二应力阈值，通过最小目标函数获取束压调节值，和/或，偏置压调节值。本申请还通过最小目标函数对栅网寿命与成膜效率和成膜应力进行平衡，在兼顾栅网使用寿命的同时，还能对成膜效率和成膜质量进行控制，提高本申请使用性能和适用性。

天眼查资料显示，佛山市博顿光电科技有限公司，成立于2020年，位于佛山市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，佛山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目17次，专利信息120条，此外企业还拥有行政许可11个。

中山市博顿光电科技有限公司，成立于2016年，位于中山市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本870.3913万人民币。通过天眼查大数据分析，中山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息161条，此外企业还拥有行政许可19个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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