科磊申请用于半导体结构的基于模型的测量的灵活测量模型专利，以经改进稳健性产生更准确测量结果
创始人
2026-02-09 11:17:43
0次
国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“用于半导体结构的基于模型的测量的灵活测量模型”的专利，公开号CN121488157A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本文中呈现用于基于可重用参数模型产生复杂半导体结构的测量模型的方法及系统。在一些实施例中，所述可重用参数模型实现具有复杂形状轮廓的大高宽比(HAR)结构的测量。在这些实施例中，可重用参数模型包含各自通过不同形状轮廓表征的多个几何区段。每一形状轮廓由至少一个形状参数参数化。另一方面，所述多个几何区段中的至少一者包含多个子区段。在一些其它实施例中，所述可重用参数模型实现基于纳米线的半导体结构的测量。本文中描述的所述可重用参数模型可用于产生用于光学计量及例如软x射线计量及硬x射线计量的x射线计量两者的测量模型。所得测量模型以经改进稳健性产生更准确测量结果。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
2026年知名的感应式稳压器生...
在众多电气设备中，感应式稳压器因其能有效应对电网电压波动，为各类电器设备提供稳定、可靠的电力输出，而...
珈伟新能：主要给IDC数据存储...
有投资者在互动平台向珈伟新能提问：“您好！贵公司官网介绍：珈伟专注于共享储能、工商业储能、‘源-网-...
星航新能源取得嵌入式防碰壁短路...
国家知识产权局信息显示，浙江星航新能源有限公司取得一项名为“一种嵌入式防碰壁短路电池密封圈”的专利，...
桂林芯飞申请芯片封装件检测装置...
国家知识产权局信息显示，桂林芯飞光电子科技有限公司申请一项名为“一种芯片封装件的检测装置及其检测方法...
陕西重汽取得燃料电池商用车整车...
国家知识产权局信息显示，陕西重型汽车有限公司取得一项名为“一种燃料电池商用车的整车电源管理系统”的专...
英格瑞德取得三相交直流切换电源...
国家知识产权局信息显示，成都英格瑞德科技有限公司取得一项名为“一种三相交直流切换电源系统”的专利，授...
联合汽车电子取得扭矩控制方法专...
国家知识产权局信息显示，联合汽车电子有限公司取得一项名为“一种扭矩控制方法、系统、设备及介质、一种车...
中关村芯海择优科技申请动态电压...
国家知识产权局信息显示，中关村芯海择优科技有限公司申请一项名为“动态电压频率调整方法、装置及相关设备...
传芯半导体取得EUV光掩模体缺...
国家知识产权局信息显示，上海传芯半导体有限公司取得一项名为“EUV光掩模体的缺陷检测方法及系统”的专...
【2025年光芯片相关企业注册...
【2025年光芯片相关企业注册超5万家】2025年全年，我国光芯片相关企业注册量同比增加22.6%至...