北方华创申请射频电源控制方法及半导体工艺设备专利，提高基于有功损耗调整射频电源输出功率的准确性_厂商动态

北方华创申请射频电源控制方法及半导体工艺设备专利，提高基于有功损耗调整射频电源输出功率的准确性

创始人

2026-03-03 14:16:46

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种射频电源控制方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121596952A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本申请提供一种射频电源控制方法及半导体工艺设备，应用于半导体工艺设备技术领域，本方法在获取射频电源的当前输出功率、流经匹配器以及各线圈的当前电流之后，根据所得当前电流和预先确定的匹配器以及各线圈各自对应的电阻值，计算匹配器以及耦合线圈组的有功损耗，并根据当前输出功率与有功损耗得到耦合线圈组输出至等离子体的当前作业功率，调整射频电源的输出功率，直至当前作业功率与预设作业功率的功率偏差处于预设偏差范围内，本方法基于匹配器以及耦合线圈组内各线圈各自对应的电阻值和当前电流计算所得有功损耗更准确，进而提高基于有功损耗调整射频电源输出功率的准确性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1388次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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