博世申请微电子机械传感器构件和微电子机械惯性传感器专利，电容检测偏转电极的偏转
创始人
2026-03-10 21:53:39
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国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微电子机械传感器构件和微电子机械惯性传感器”的专利，公开号CN121633542A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种微电子机械传感器构件(1)，具有：衬底(2)；与衬底(2)相连的可移动的传感器结构(3)，带有地震质量区段(4)和布置在其上的偏转电极(5)；和至少一个布置在衬底(2)上的评估电极(6)，可移动的传感器结构(3)的偏转电极(5)相对于评估电极可相对移动地布置，评估电极(6)配置用于电容检测偏转电极(5)的偏转，偏转电极(5)和评估电极(6)构成梳状结构，其方式是，偏转电极(5)具有多个从偏转电极条(5a)向评估电极(6)的方向延伸的偏转电极指(5b)，其方式是，评估电极(6)具有多个从评估电极条(6a)向偏转电极(5)的方向、至少区段式平行于偏转电极指(5b)延伸的评估电极指(6b)。本发明还涉及具有这种微电子机械传感器构件(1)的微电子机械惯性传感器(20)。
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