苏州奥科橡胶科技申请半导体CMP吸附膜及其制备方法专利，具备优异的力学性能和化学稳定性
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2026-03-12 23:55:02
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国家知识产权局信息显示，苏州奥科橡胶科技有限公司申请一项名为“一种半导体CMP吸附膜及其制备方法”的专利，公开号CN121628378A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体CMP吸附膜及其制备方法，吸附膜由液体硅橡胶通过铂催化的硅氢加成反应交联固化形成，所述液体硅橡胶包含含乙烯基的硅烷和含氢硅烷。吸附膜硬度为Shore A 40-44，拉伸强度≥6.5MPa，断裂伸长率≥600%，可萃取物含量＜5ppm，具备优异的力学性能和化学稳定性。吸附表面设有至少两个呈阶梯形排布的环形凹槽，厚度为1.20-1.32mm，外径为298-300mm，匹配标准晶圆尺寸。制备方法包括原料准备、注塑成型、热固化、表面粗糙度检测、清洗处理及质量检测。本发明通过严格控制原料与工艺，实现无涂层设计、低污染、高一致性和长寿命，适用于半导体CMP工艺。
天眼查资料显示，苏州奥科橡胶科技有限公司，成立于2008年，位于苏州市，是一家以从事橡胶和塑料制品业为主的企业。企业注册资本3360万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州奥科橡胶科技有限公司财产线索方面有商标信息10条，专利信息83条，此外企业还拥有行政许可3个。
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来源：市场资讯
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