MEMS声学传感器关键技术通过鉴定！为核心器件产业提供配套支撑_厂商动态

MEMS声学传感器关键技术通过鉴定！为核心器件产业提供配套支撑

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2026-05-10 02:20:39

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5月8日，广东省电子学会在广州组织召开了“MEMS声学传感器的大背腔线路板高效精密制造技术及产业化”项目科技成果鉴定会议。经专家鉴定，该项目成果整体技术达到国际先进水平。

该项目发明了新型MEMS声学传感器大背腔线路板集成结构，研发了MEMS腔体板冲切与锣板精修协同技术、精准线路图形转移成型技术、激光声孔精准加工技术及AI协同电子检测技术，实现了大背腔的高精度尺寸腔体、低侧壁粗糙度、高精度尺寸声孔及A/B面线路同心度的精准控制。项目产品已获相关知名企业应用，反馈良好。经权威单位检测，产品在A/B面线路同心度、声孔孔径公差、声孔对位精度、腔体尺寸精度及粗糙度等方面的技术指标，均符合IPC相关标准要求。

项目技术产品。

项目由东莞市科佳电路有限公司、东莞华南设计创新院和广东工业大学合作完成。其间获得发明专利1件、实用新型专利8件授权。项目成果为下游MEMS麦克风、压力传感器等核心器件产业提供了关键配套支撑，推动我国MEMS腔体线路板行业向高端化、智能化方向升级，取得了良好的经济和社会效益。

鉴定委员会由来自中山大学、华南理工大学、暨南大学、广东省公安厅、中国电器科学研究院股份有限公司、广东省电路板行业协会、广东省电子学会的7位专家组成。委员会认真听取了成果完成单位的汇报，审阅了科技查新报告、检测报告、应用证明等材料，经质询和讨论，一致认为，该项目成果整体技术达到国际先进水平，同意通过科技成果鉴定。

南方+记者李鹏程

通讯员廖发盆徐承升

成果线路板技术器件鉴定核心项目产业传感器声学腔体同心度声学传感器背腔声孔

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