细美事申请RF电路建模方法专利，最大限度地反映实际RF电路的特性
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2026-05-12 18:23:35
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国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“RF电路的建模方法、调谐方法以及诊断方法”的专利，公开号CN122021513A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种可以最大限度地反映实际RF电路的特性的RF电路的建模方法、调谐方法以及诊断方法，以及包括RF电路的基板处理装置。根据本发明的在利用等离子体的基板处理装置中处理RF信号的RF电路的建模方法包括：构成建模的RF电路使得在由所述RF电路的构成要件构成的基本模型中包括所述构成要件的寄生成分以及误差成分的步骤；获得所述建模的RF电路的第一频率响应以及所述RF电路的第二频率响应的步骤；比较所述第一频率响应和所述第二频率响应而测定数据误差的步骤；以及当所述数据误差在基准范围以内时决定将所述建模的RF电路作为所述RF电路的基准模型的步骤。
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