苏州佑伦申请真空蒸镀机晶振系统专利，显著延长单次镀膜作业的监测时长达5-8倍
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2025-07-09 15:38:36
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金融界2025年7月9日消息，国家知识产权局信息显示，苏州佑伦真空设备科技有限公司申请一项名为“一种真空蒸镀机的晶振系统”的专利，公开号CN120272864A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提出一种真空蒸镀机的晶振系统，包括第一旋转机构，采用双级旋转嵌套结构，通过第一旋转机构驱动支撑组件实现载具公转的同时，第二旋转件独立控制晶振片机构自转，形成复合运动轨迹，使多个晶振片可周期性切入蒸汽流进行分时测量，显著延长单次镀膜作业的监测时长达5-8倍；精密设计的探头盖帽配合伺服电机驱动的中间转动轴，可实现±0.02°的定位精度；分布式布置的多个晶振片可编程化轮流启用，使镀膜均匀性控制精度提升至98.5%以上；将晶振监测点置于载具中心通孔区，通过优化蒸汽流场分布，使检测数据与基板实际沉积速率的相关系数从传统侧置式的0.82提升至0.96，大幅提高膜厚控制可靠性。
天眼查资料显示，苏州佑伦真空设备科技有限公司，成立于2016年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1250.6667万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州佑伦真空设备科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息88条，专利信息168条，此外企业还拥有行政许可4个。
来源：金融界
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