束泰电子申请RTP管路清洗设备专利，提升清洗彻底性与一致性
创始人
2026-09-05 09:19:25
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国家知识产权局信息显示，上海束泰电子科技有限公司申请一项名为“RTP管路清洗设备”的专利，公开号CN122682871A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明涉及RTP管路清洗技术领域，公开一种RTP管路清洗设备，旨在解决现有技术单路供水可靠性差、清洗压力不可调、监测滞后及维护成本高的缺陷。该设备包括储液单元、RTP机台、双路冗余供水单元、清洗泵压力智能控制输出单元及实时监测预警单元；双路冗余供水单元保障供水连续，变频脉冲泵配合可调式溢流阀动态调节压力流量，温度及浊度传感器实时监测并预警，储液单元分级过滤延长清洗液寿命。本设备可提升清洗彻底性与一致性，精准判断清洗终点，降低维护成本及晶圆报废率，适用于半导体RTP工艺管路清洗。
天眼查资料显示，上海束泰电子科技有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海束泰电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目4次，专利信息1条，此外企业还拥有行政许可1个。
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