山东泽业能源申请集成电路器件刻除装置专利，防止气体泄漏对装置或其他晶圆片造成影响
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2026-09-12 16:27:19
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国家知识产权局信息显示，山东泽业能源科技有限公司申请一项名为“一种集成电路器件刻除装置”的专利，公开号CN122742659A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本公开提出一种集成电路器件刻除装置，包括：底座，所述底座上滑动配合有龙门架，龙门架内滑动配合有滑动架，滑动架下侧固定有刻除头，刻除头的周侧固定有密封块；支撑结构，所述支撑结构包括支撑板，支撑板上滑动配合有放置架，支撑板与放置架之间装设有滑动结构，滑动结构包括第三电动滑轨和轨道。在本公开的一种集成电路器件刻除装置中，在轨道上和第三电动滑轨的输出端安装夹持结构，通过夹持结构带动放置架移动，从而带动晶圆片移动，即可方便对晶圆片进行加工，并且通过弹性块和辅助架保证装置的双重密封，从而对气体进行回收，防止气体泄漏对装置或其他晶圆片造成影响，从而保证对晶圆片的加工效果。
天眼查资料显示，山东泽业能源科技有限公司，成立于2019年，位于济南市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，山东泽业能源科技有限公司拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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