上海光通信申请气体流量检测装置及半导体设备专利，能够提高气体流量检测的精确性与稳定性
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2025-07-28 21:11:08
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金融界2025年7月28日消息，国家知识产权局信息显示，上海光通信有限公司申请一项名为“气体流量检测装置及半导体设备”的专利，公开号CN120369058A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本发明提供一种气体流量检测装置及半导体设备，检测装置包括：气体检测盒以及压力检测器，压力检测器用于检测气体检测盒的压力，气体检测盒的一端连接进气管路，另一端连接出气管路；其中，气体检测盒上还设置有控温装置，控温装置用于将气体检测盒控制在预设温度范围内。本发明采用气体检测盒对气体流量进行检测，且通过控温装置将气体检测盒控制在预设温度范围内，与现有技术中采用工艺腔室对气体流量进行检测相比，并没有部件消耗、聚合物沉积以及机台维护等因素对气体检测盒检测条件造成影响，并且温度控制在预设温度范围内，使得气体测量环境稳定，从而能够提高气体流量检测的精确性与稳定性，提升了工艺稳定性。
天眼查资料显示，上海光通信有限公司，成立于1988年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析，上海光通信有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目49次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可182个。
来源：金融界
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