中科飞测申请电子探测装置、方法及电子显微镜专利，对背散射电子和二次电子的发散程度进行调整
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2025-07-29 22:13:54
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金融界2025年7月29日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“电子探测装置、方法及电子显微镜”的专利，公开号CN120388877A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明公开了一种电子探测装置、方法及电子显微镜，其中电子探测装置包括：沿电子束运动路径依次设置的第一张角调整部件、第二张角调整部件和探测器；第一张角调整部件用于调整穿过第一张角调整部件的背散射电子和二次电子的发散程度；第二张角调整部件用于调整穿过第二张角调整部件的二次电子的发散程度；探测器用于探测电子；控制器，分别与第一张角调整部件、第二张角调整部件电性连接，用于调整第一张角调整部件和第二张角调整部件的电压，以调整背散射电子和二次电子的发散角度，以致探测器单独探测背散射电子或二次电子。本发明能够对背散射电子和二次电子的发散程度进行调整，从而的探测器仅探测到背散射电子或二次电子。
天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目262次，财产线索方面有商标信息255条，专利信息972条，此外企业还拥有行政许可39个。
来源：金融界
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