拓荆科技获得发明专利授权：“一种机械手的控制方法、一种机械手和半导体加工系统”
创始人
2025-08-02 03:09:43
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种机械手的控制方法、一种机械手和半导体加工系统”，专利申请号为CN202211435249.6，授权日为2025年8月1日。
专利摘要：本发明公开了一种机械手的控制方法、一种机械手和一种半导体加工系统。该控制方法包括以下步骤：控制所述机械手带动其操作端向晶圆托盘移动；获取所述操作端与所述晶圆托盘的位置偏差数据；根据所述位置偏差数据确定纠偏指令，以对所述操作端进行位置纠偏；以及控制所述操作端完成放置晶圆或拾取晶圆的操作。通过执行上述机械手的控制方法的这些步骤，能够对机械手的左右操作端分别或同时进行精确的位置调整，使其准确地对应晶圆托盘的中心，从而对于晶圆放置/拾取的位置更为精准，避免后续晶圆处理不均匀，保证了晶圆的处理结果。
今年以来拓荆科技新获得专利授权33个，较去年同期增加了73.68%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。
通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息708条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源：天眼查APP
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