上海良薇机电取得气体混合装置及半导体工艺系统专利，使用范围广无气体泄露风险
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2025-08-17 00:12:39
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金融界2025年8月16日消息，国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司取得一项名为“一种气体混合装置及半导体工艺系统”的专利，授权公告号CN223221292U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种气体混合装置及半导体工艺系统，气体混合装置包括混气单元、进气单元、混合单元和排气单元。其优点在于，利用进气单元与气体供应装置连通，并将混合气体输送至混气单元，混合气流推动混合单元转动，进而推动混合气体向混气单元运动，经排气单元将混合均匀的混合气体输入其他工艺设备；结构简单，活动结构少，且均可自发进行运动，无需借助外部动力设备；同时气密性好，可用于多种气体混合，使用范围广，且无气体泄露风险，解决了气体混合需要电机驱动、混合装置气密性差、活动部件多易发生故障、使用受限的问题。
天眼查资料显示，上海良薇机电工程有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事建筑安装业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海良薇机电工程有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息95条，此外企业还拥有行政许可8个。
来源：金融界
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