中微公司获得实用新型专利授权：“一种加热结构及半导体处理设备”
创始人
2025-09-24 05:06:15
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种加热结构及半导体处理设备”，专利申请号为CN202422039917.4，授权日为2025年9月9日。
专利摘要：本实用新型公开了一种加热结构及半导体处理设备，加热结构应用于半导体处理设备中，半导体处理设备包括反应腔和基座组件，基座组件位于反应腔内，用于承载基片，加热结构包括：第一加热组件，其设置在反应腔内，且环绕基座组件设置；第二加热组件，其设置在反应腔内；第二加热组件为分散光源，且环绕基座组件设置；调节第二加热组件的竖直位置或者角度，以使第二加热组件的辐射区域在基片的边缘到中心之间变化。本实用新型提高了基片的加热均匀性和加热效率。
今年以来中微公司新获得专利授权118个，较去年同期增加了28.26%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1539条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。
数据来源：天眼查APP
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