路维光电获得实用新型专利授权：“一种掩膜版用保护装置”
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2025-10-10 04:05:18
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示路维光电（688401）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种掩膜版用保护装置”，专利申请号为CN202422890479.2，授权日为2025年10月10日。
专利摘要：本实用新型公开了一种掩膜版用保护装置，涉及掩膜版技术领域，解决掩膜版在使用过程中，易出现掩膜版表面长霉点或光学膜表面发雾的现象，从而导致掩膜版透过率下降，导致在做曝光图形转移时形成的图案不准确甚至错误，造成批量报废技术问题；包括掩膜版和保护膜结构，所述保护膜结构固定在掩膜版具有图形区域的一侧，所述保护膜结构内侧设有吸附层，所述保护膜结构侧壁开设有排气通孔，所述排气通孔内设置有过滤结构，所述排气通孔外侧设置有单向排气阀；本实用新型可以有效避免外部环境中的有机气体与掩膜版或保护膜结构产生的SO2，NH3等物质反应结晶，避免了掩膜版表面长霉点或光学膜表面发雾的现象的产生，延长了掩膜版使用寿命。
今年以来路维光电新获得专利授权3个，较去年同期增加了200%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1801.5万元，同比减9.59%。
通过天眼查大数据分析，深圳市路维光电股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目19次；财产线索方面有商标信息3条，专利信息89条，著作权信息9条；此外企业还拥有行政许可20个。
数据来源：天眼查APP
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