证券代码：688012 证券简称：中微公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。

第三季度财务报表是否经审计

□是 √否

● 公司2025年前三季度（1-9月）营业收入为80.63亿元，同比增长约46.40%。其中刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%。

● 2025年前三季度（1-9月）归属于上市公司股东的净利润为12.11亿元，较去年同期增长约32.66%。

● 根据市场需求，公司显著加大研发力度。2025年前三季度公司研发支出25.23亿元，较去年同期增长约63.44%，研发支出占公司营业收入比例约为31.29%。

● 公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。其中CCP方面，公司用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，60比1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备，量产指标稳步提升，下一代90比1超高深宽比介质刻蚀设备即将进入市场；ICP方面，适用于下一代逻辑和存储客户用ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得了良好进展。加工的精度和重复性已达到单原子水平。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的LPCVD、ALD 等多款薄膜设备已经顺利进入市场，并且设备性能完全达到国际领先水平，薄膜设备的覆盖率不断增加。公司硅和锗硅外延EPI设备已顺利运付客户端进行量产验证，并且获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端开展生产验证。

审计师发表非标意见的事项

□适用 √不适用

一、主要财务数据

（一）主要会计数据和财务指标

单位：元币种：人民币

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注：“本报告期”指本季度初至本季度末3个月期间，下同。

公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短的时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年加速、大规模地推出多种新产品。

公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。其中CCP方面，公司用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，60比1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备，量产指标稳步提升，下一代90比1超高深宽比介质刻蚀设备即将进入市场；ICP方面，适用于下一代逻辑和存储客户用ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得了良好进展。加工的精度和重复性已达到单原子水平。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的LPCVD、ALD 等多款薄膜设备已经顺利进入市场，并且设备性能完全达到国际领先水平，薄膜设备的覆盖率不断增加。公司硅和锗硅外延EPI设备已顺利运付客户端进行量产验证，并且获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端开展生产验证。

公司2025年前三季度（1-9月）营业收入为80.63亿元，同比增长约46.40%。其中刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%。

2025年前三季度（1-9月）归属于上市公司股东的净利润为12.11亿元，较上年同期增长约2.98亿元，同比增长约32.66%，主要原因为：（1）2025年前三季度营业收入增长46.40%下，毛利较上年增长约8.27亿元；（2）由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，2025年公司显著加大研发力度，以尽快补短板，实现赶超，为持续增长打好基础。2025年前三季度公司研发支出较上年同期增长9.79亿元（增长约63.44%），研发支出占公司营业收入比例约为31.29%，远高于科创板均值；（3）由于市场波动，公司2025年前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元，较上年同期增加约2.75亿元。

2025年前三季度（1-9月）归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约8.87亿元，较上年同期增加0.74亿元（增长约9.05%），主要由于营业收入增长下毛利增加8.27亿元，以及研发费用较上年同期增加8.80亿元。

（二）非经常性损益项目和金额

√适用 □不适用

单位:元币种:人民币

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对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号一一非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号一一非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用 √不适用

（三）主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用 □不适用

■

二、股东信息

（一）普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

单位：股

■

持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

□适用 √不适用

前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用 √不适用

三、其他提醒事项

需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

□适用 √不适用

四、季度财务报表

（一）审计意见类型

□适用 √不适用

（二）财务报表

合并资产负债表

2025年9月30日

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计

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■

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文

合并利润表

2025年1一9月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计

■

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元, 上期被合并方实现的净利润为：0元。

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文

合并现金流量表

2025年1一9月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计

■

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文

2025年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用 √不适用

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2025年10月29日

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-065

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于回购股份集中竞价减持股份计划公告

本公司董事会、全体董事及相关股东保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

● 回购股份的基本情况

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“中微公司”）于2024年2月8日至2024年4月30日期间累计回购公司股份2,096,273股，占公司目前总股本的0.33%。前述回购的股份用于维护公司价值及股东权益，将在披露回购结果暨股份变动公告12个月后采用集中竞价交易方式出售。公司如未能在股份回购实施完成之后3年内实施前述用途，尚未出售的已回购股份将予以注销。截至本公告披露日，公司尚未减持或转让前述股份。

● 减持计划的主要内容

公司于2025年10月29日召开第三届董事会第七次会议，审议通过《关于回购股份集中竞价减持计划的议案》。根据《上海证券交易所上市公司自律监管指引第7号一一回购股份》的规定以及公司于2024年2月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《中微公司：关于以集中竞价交易方式回购公司股份的回购报告书》（以下简称“回购报告书”）的有关要求，公司计划自本公告披露之日起15个交易日后的3个月内，通过集中竞价交易方式，按照市场价格累计减持不超过2,096,273股已回购股份，占公司总股本的0.33%。若此期间公司发生送红股、资本公积金转增股本等导致公司股本总数变动的情形，公司将对减持股份数量进行相应调整。

一、减持主体的基本情况

■

上述减持主体无一致行动人。

回购专用证券账户未曾减持股份。

二、减持计划的主要内容

■

预披露期间，若公司股票发生停牌情形的，实际开始减持的时间根据停牌时间相应顺延

（一）相关股东是否有其他安排□是 √否

（二）大股东及董监高此前对持股比例、持股数量、持股期限、减持方式、减持数量、减持价格等是否作出承诺√是 □否

公司已回购的股份用于维护公司价值及股东权益，将在披露回购结果暨股份变动公告12个月后采用集中竞价交易方式出售。公司如未能在股份回购实施完成之后3年内实施前述用途，尚未出售的已回购股份将予以注销。

本次拟减持事项与此前已披露的承诺是否一致 √是 □否

（三）是否属于上市时未盈利的公司，其控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员拟减持首发前股份的情况 □是 √否

（四）交易所要求的其他事项

1、减持原因及目的：公司已完成为维护公司价值及股东权益而开展的股份回购，本次减持回购股份事项，符合《上海证券交易所上市公司自律监管指引第7号一一回购股份》《回购报告书》的有关规定。

2、减持所得资金的用途及具体使用安排：本次减持所得资金将用于补充公司日常经营所需要的流动资金。

3、预计减持完成后公司股权结构的变动情况：如完成本次减持计划，按照

减持股数上限209.6273万股测算,公司回购证券专用账户股份将由209.6273万股减少至0股，占总股本的比例由0.33%减少至0%，最终以减持期限届满或者减持计划实施完毕时公司实际出售的股份数量和占公司总股本的比例为准。

4、管理层关于本次减持已回购股份对公司经营、财务及未来发展影响等情况的说明：公司本次减持股份收回金额与库存股成本的差额部分将计入或者冲减公司资本公积，不会对公司的经营、财务和未来发展产生重大影响。

5、公司董事、高级管理人员、控股股东、实际控制人、回购提议人在董事会作出减持股份决议前6个月内买卖本公司股份的情况：

董事、高级管理人员丛海，除2024年限制性股票计划第一个归属期及2022年限制性股票第三个归属期归属外，在董事会作出减持股份决议前6个月不存在买卖公司股票的行为；董事、高级管理人员尹志尧，陈伟文在董事会作出减持股份决议前6个月存在减持情况，详见公司相关公告；其他董事、高级管理人员在其任期内不存在买卖公司股票行为。

三、控股股东或者实际控制人减持首发前股份

是否是控股股东或者实际控制人拟减持首发前股份的情况 □是 √否

四、减持计划相关风险提示

（一）减持计划实施的不确定性风险，如计划实施的前提条件、限制性条件以及相关条件成就或消除的具体情形等

根据《上海证券交易所上市公司自律监管指引第7号一一回购股份》等规定，公司本次减持股份应当遵守下列要求：

1、申报价格不得为公司股票当日交易跌幅限制的价格；

2、不得在上海证券交易所开盘集合竞价、收盘前半小时内及股票价格无涨跌幅限制的交易日内进行出售的委托；

3、每日出售的数量不得超过出售预披露日前20个交易日日均成交量的25%，但每日出售数量不超过20万股的除外；

4、在任意连续90日内，出售股份的总数不得超过公司股份总数的1%；

5、中国证监会和上海证券交易所规定的其他要求。

（二）减持计划实施是否可能导致上市公司控制权发生变更的风险

□是 √否

（三）其他风险提示

公司将在本次减持期间内，严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第7号一一回购股份》等有关规定，及时履行信息披露义务。敬请广大投资者注意投资风险。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2025年10月30日