佛山南海打造信息装备制造千亿产业集群，再次提速。11月14日，深圳清溢光电股份有限公司（下称“清溢光电”）佛山生产基地投产仪式在南海丹灶举行。

2024年，清溢光电启动投资人民币35亿元建设佛山生产基地项目，包括高精度掩膜版生产基地、高端半导体掩膜版生产基地。2025年11月，清溢光电佛山高端半导体掩膜版生产基地引入佛山第一台电子束光刻机，电子束光刻机是制造尖端半导体掩膜版的“王牌”设备，它的入驻正式开启了佛山高端半导体用掩膜版的制造历史，未来将向28nm目标发起冲击。

“我们将坚守技术创新与质量领先，深化产学研协同，加速掩膜版国产化进程，助力关键电子材料自主可控。”清溢光电董事唐嘉盛表示，基地投产标志着清溢光电在掩膜版领域迈上新台阶，佛山基地将继续聚焦高世代面板及先进制程半导体掩膜版研发制造，成为公司新的增长引擎。

在佛山市市长白涛等嘉宾见证下，清溢光电佛山生产基地投产。

龙头引领

打造掩膜版行业标杆

清溢光电是国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一，公司产品曾多次打破国外垄断、填补国内空白，在我国掩膜版产业中处于领军地位。此次项目在市、区、镇各级的高效服务支持下，从规划、拿地到投产，创造了新的“清溢速度”“南海速度”。

在其佛山生产基地中，高精度掩膜版生产基地建设项目主要生产8.6代及以下高精度FPD掩膜版，应用于a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO、MicroLED等平板显示掩膜版产品，特别是应对AMOLED用高精度掩膜版的需求（含建设中的8.6代AMOLED），填补国内空白，实现高端掩膜版的国产化替代。项目建成投产后，可进一步提升高精度平板显示掩膜版国产化程度及配套水平。

高端半导体掩膜版生产基地建设项目是建设建设28—180nm的高端半导体掩模板，该项目将提升产品技术和工艺水平，扩充生产规模，促进公司可持续发展。与此同时，该项目能够实现更高节点的高端半导体掩膜版的开发及产业化，有望打破境外领先厂商的垄断格局，提高在半导体产业链领域的技术安全及自主可控能力。

清溢光电总经理姜巍表示：“一定不负众望，努力将项目打造成行业标杆，为佛山夯实经济高质量发展底盘作出应有贡献！”

强链补链

打造千亿产业集群

清溢公司在掩膜版行业位居国内第一、全球第四，是佛山发展半导体产业“强链补链”的关键一环。

经过多年培育，佛山已初步构建完整的半导体产业链生态，覆盖材料、设备、设计、制造、封测等全环节。新一代电子信息产业是南海区培育新质生产力的重要抓手之一，也是南海区构建“三高四新”现代产业体系的重要一环。目前，南海正加快打造具有国际竞争力的信息装备制造千亿产业集群。

截至2024年底，佛山全市半导体及集成电路领域规模以上企业109家，培育国家级专精特新“小巨人”9家，实现产值129.08亿元，为产业高质量发展奠定了坚实基础。佛山坚持把创新摆在产业发展的核心位置，建成了季华实验室、广东中科半导体微纳制造技术研究院、广工大（佛山）研究院等政产学研协同创新平台，加快形成材料外延、晶圆加工、封装测试等全流程研发及中试公共服务能力。同时，佛山正大力建设佛山半导体产业园，规划建筑面积6万平方米，是目前华南地区规模最大的超净实验平台。园区已完成主体基建，预计今年年底将正式迎来首批企业入驻，并于明年初开启试运营，为半导体企业的入驻与发展提供坚实的空间保障。

“期待清溢光电以佛山的生产基地为新起点，打造掩膜版领域的标杆工厂，带动更多上下游配套企业集聚，助力佛山半导体产业高质量发展更上一层楼。”佛山市委常委、统战部部长丁锡丰表示，希望清溢公司能够以项目投产为契机，充分发挥龙头企业示范引领作用，加快核心技术攻关，持续提升企业核心竞争力，佛山始终秉持“企业至上、服务为本”的理念，持续深化“益晒你”企业服务体系，全力打造一流营商环境，让企业在佛山投资放心、创业安心、发展顺心。

采写/摄影：南方+记者 熊程