晟霖益嘉申请多功能腔室的控制方法、系统及半导体制造设备专利，有效防止交叉污染_电池技术

晟霖益嘉申请多功能腔室的控制方法、系统及半导体制造设备专利，有效防止交叉污染

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2025-11-29 23:07:30

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国家知识产权局信息显示，浙江晟霖益嘉科技有限公司申请一项名为“一种多功能腔室的控制方法、系统及半导体制造设备”的专利，公开号CN121023454A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种多功能腔室的控制方法、系统及半导体制造设备，其中，多功能腔室集成负载锁定、加热除气和冷却功能于单一腔室，通过升降轴传送机构驱动晶圆支撑机构在多级定位位置间移动，所述方法包括：定义晶圆状态为：未处理晶圆、已除气晶圆、已降温晶圆、已镀膜晶圆、除气中晶圆；执行晶圆互斥状态校验规则：禁止未处理晶圆与已除气晶圆共存；禁止未处理晶圆与已镀膜晶圆共存；禁止已除气晶圆与已降温晶圆共存；禁止已降温晶圆与已镀膜晶圆共存；当互斥状态校验未通过时，触发异常处理机制。通过五种晶圆状态及四种晶圆互斥状态规则的设定，对晶圆状态进行精细化管理及追踪，有效防止交叉污染，提高晶圆的生产质量及效率。

天眼查资料显示，浙江晟霖益嘉科技有限公司，成立于2022年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3308.9244万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江晟霖益嘉科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可9个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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