格科半导体申请硅渣硅泥沉淀过滤装置专利，有效过滤半导体处理装置排出的硅渣硅泥杂质并及时清理
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2025-12-02 21:08:30
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国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种硅渣硅泥沉淀过滤装置”的专利，公开号CN121044739A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，一种硅渣硅泥沉淀过滤装置，包含依次相连通的第一腔体、第二腔体和第三腔体：所述第一腔体与半导体处理装置的处理腔相连；所述第二腔体包括：吸附槽，铺设在所述第二腔体的底部；所述第三腔体包括：第一子腔体，与所述第二腔体相连；第二子腔体，位于所述第一子腔体上方且与其连通；第三腔体排水口，设置在所述第二子腔体上且高于所述第一子腔体与第二子腔体的连通处；由所述第二腔体流出的废水，先流入所述第一子腔体，沉淀部分硅泥后向上流动至所述第二子腔体，并经由所述第三腔体排水口排出。本发明能够有效的过滤半导体处理装置所排出的硅渣硅泥杂质并及时清理，具有高效便捷的特点。
天眼查资料显示，格科半导体（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本700000万人民币。通过天眼查大数据分析，格科半导体（上海）有限公司参与招投标项目21次，专利信息126条，此外企业还拥有行政许可90个。
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来源：市场资讯
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