海泰光电取得一种复合结构旋转靶材专利，提高靶材使用率
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2025-12-03 16:08:40
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国家知识产权局信息显示，江苏海泰光电材料科技股份有限公司取得一项名为“一种复合结构旋转靶材”的专利，授权公告号CN223607342U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种复合结构旋转靶材，涉及靶材溅射技术领域，该装置，包括靶材本体；还包括：环形槽，其一体成型设置在靶材本体的端部，且环形槽设置有两个并分别位于靶材本体的上下两端，所述靶材本体的上下两端均设置有金属环，金属环嵌合在环形槽的内部，所述靶材本体的表面喷涂有涂层，在常规等离子喷涂氧化锆旋转靶材的两端添加纯锆材料的金属环，与靶材两端的卡合槽进行嵌合，纯锆为金属，导电性能良好，在靶材溅射过程中可保障旋转靶材两端不形成绝缘陶瓷膜，避免弧光放电，提高靶材使用率。
天眼查资料显示，江苏海泰光电材料科技股份有限公司，成立于2021年，位于南通市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3363.6364万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏海泰光电材料科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可8个。
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