深技大半导体微纳加工中心落成打造大湾区化合物半导体光电产业支撑平台_电池技术

深技大半导体微纳加工中心落成打造大湾区化合物半导体光电产业支撑平台

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2025-12-26 11:37:41

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深圳新闻网2025年12月26日讯（深圳特区报记者张锐）12月25日，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。作为深圳市首个聚焦化合物半导体光电子领域的公共服务平台，该平台的投用填补了深圳市在“光载信息”和“智能传感”半导体芯片领域的空白，将为粤港澳大湾区半导体产业高质量发展提供关键支撑，筑牢深技大应用研究型人才培养根基。

深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台是国内高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。中心建筑面积2600平方米，其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米。作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，配置120余台套先进教学与研发工艺设备，构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等关键环节的全流程工艺体系，可提供“设计—加工—封装—测试”一站式技术解决方案。

人才培养方面，中心精准对接深技大应用研究型人才培养需求，依托深技大集成电路与光电芯片学院，组建了由50多名高层次科研人员构成的核心团队，已构建起从基础研究到工艺实现、从中试到产业化的完整创新链条。

据介绍，半导体微纳加工中心与测试平台将以专业化、高水平的半导体加工与测试服务为核心抓手，加快破解半导体光电产业领域关键核心技术，加速推动半导体与集成电路领域研究成果的工程化突破、产业化应用、市场化推广，为深圳市半导体产业和坪山区“中国芯”支柱产业高质量发展提供坚实支撑。

湾区化合物平台测试芯片产业领域导体工艺深圳深技半导体光电深圳市深圳技术大学

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