韩科科技申请用于TEOS的液态源输送系统专利，保证了半导体工艺设备供液的稳定性
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2025-12-29 10:08:39
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国家知识产权局信息显示，上海韩科科技股份有限公司申请一项名为“用于TEOS的液态源输送系统、控制方法及相关设备”的专利，公开号CN121206388A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请涉及一种用于TEOS的液态源输送系统、控制方法及相关设备。该系统包括液源存储装置、缓冲存储装置、压料氦气管路、脱氦处理装置、多支路输送组件、换源管路组件和控制模块。通过设置缓冲存储装置，可以在对液源存储装置进行更换时，由缓冲存储装置持续向工艺端供液，保证了半导体工艺设备供液的稳定性；通过设置脱氦处理装置，能够对使用压料氦气驱动的TEOS液体进行脱氦处理，以向工艺端供给脱氦TEOS液体；通过控制模块自动控制各个自动阀组件，实现了补液进程、供液进程以及换源进程的自动化控制，尤其是在自动更换液源存储装置时，避免了由于TEOS易挥发和不稳定的特性在人工操作中造成污染或引入杂质。
天眼查资料显示，上海韩科科技股份有限公司，成立于2012年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3895.4834万人民币。通过天眼查大数据分析，上海韩科科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息94条，此外企业还拥有行政许可16个。
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来源：市场资讯
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