中国石油申请MEMS气体传感器及其制备方法专利,兼具优异的低浓度气体监测灵敏度、高浓度气体耐受稳定性以及优异的抗干扰性与响应速度
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2026-01-01 13:09:15
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国家知识产权局信息显示,中国石油天然气集团有限公司;中国石油集团工程材料研究院有限公司;西安三环石油管材科技有限公司申请一项名为“一种MEMS气体传感器及其制备方法”的专利,公开号CN121231572A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本发明提供一种MEMS气体传感器及其制备方法,MEMS气体传感器包括层叠设置的绝缘衬底、加热电极、绝缘层、测试单元;测试单元包括测试电极、敏感单元和选择性分离膜;敏感单元具有由多个间隔设置的纳米线形成的纳米线阵列结构,选择性分离膜覆盖在敏感单元和凹部的表面;其中,纳米线包含第一金属和第二金属,第一金属为Pd,第二金属选自Ni、Cu、Ag、Au、Ir中的至少一种;选择性分离膜包括依次层叠设置的内层分离膜和外层分离膜;内层分离膜包含聚四氟乙烯;外层分离膜为以共价有机框架材料为填料、自具微孔聚合物为基质的混合基质膜,该MEMS气体传感器兼具优异的低浓度气体监测灵敏度、高浓度气体耐受稳定性以及优异的抗干扰性与响应速度。

天眼查资料显示,中国石油天然气集团有限公司,成立于1990年,位于北京市,是一家以从事石油和天然气开采业为主的企业。企业注册资本48690000万人民币。通过天眼查大数据分析,中国石油天然气集团有限公司共对外投资了107家企业,参与招投标项目5000次,财产线索方面有商标信息1447条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可28个。

中国石油集团工程材料研究院有限公司,成立于2021年,位于西安市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本67911万人民币。通过天眼查大数据分析,中国石油集团工程材料研究院有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目1677次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息837条,此外企业还拥有行政许可16个。

西安三环石油管材科技有限公司,成立于1992年,位于西安市,是一家以从事石油、煤炭及其他燃料加工业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,西安三环石油管材科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目147次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息212条,此外企业还拥有行政许可39个。

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来源:市场资讯

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