苏纳光电申请半导体加工控制方法专利，改善晶圆中心与边缘区域的工艺均匀性
创始人
2026-01-08 14:17:07
0次
国家知识产权局信息显示，苏州苏纳光电有限公司申请一项名为“半导体加工控制方法及相关装置”的专利，公开号CN121282077A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体加工控制方法及相关装置，其中，半导体加工控制方法包括：对内线圈和外线圈施加初始功率，获取晶圆表面的反应物的平均浓度，以平均浓度为目标浓度，基于晶圆表面的预设位置处的反应物浓度与电感耦合线圈的功率的映射关系，根据目标浓度调节内线圈的功率和外线圈的功率。根据本发明的半导体加工控制方法及相关装置，能够通过动态调节内线圈和外线圈上的功率，优化等离子体分布，从而改善晶圆中心与边缘区域的工艺均匀性，实现自适应优化。本发明无需改造设备结构，适用于不同工艺参数和反应体系，可显著提高晶圆加工的均匀性和一致性。
天眼查资料显示，苏州苏纳光电有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本626.9992万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州苏纳光电有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可7个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
原创 稳...
随着工业互联网（IIoT）的普及和全球范围内对能源效率的日益关注，稳压器已从一个独立的“电力保障设备...
如何为工业农业通信选到合适的智...
智能稳压器的重要性 在工业、农业、通信等领域，电压的稳定对各类设备的正常运行至关重要。不稳定的电压可...
华为取得射频芯片组件及距离检测...
国家知识产权局信息显示，华为技术有限公司取得一项名为“射频芯片组件、距离检测方法和电子设备”的专利，...
辰卓科技申请芯片测试设备通用驱...
国家知识产权局信息显示，深圳市辰卓科技股份有限公司申请一项名为“芯片测试方法、装置、系统及芯片测试设...
PCB免费打板交付速度如何考虑...
在电子产品迭代周期不断压缩的今天，“快” 成为企业竞争的核心要素。PCB 作为电子设备的核心载体，其...
凯维力传感取得基于倾斜长方体结...
国家知识产权局信息显示，杭州凯维力传感科技有限公司取得一项名为“一种基于倾斜长方体结构的双电容式柔性...
歌林智控取得变频器补偿电容布局...
国家知识产权局信息显示，歌林智控（保定）科技有限公司取得一项名为“一种变频器补偿电容布局结构”的专利...
杰瑞股份成立新公司 含电子专用...
据同花顺快查APP显示，近日，杰瑞能控科技(深圳)有限公司成立，法定代表人为姚君磊，注册资本为200...
上海工业自动化仪表研究院取得具...
国家知识产权局信息显示，上海工业自动化仪表研究院有限公司取得一项名为“具有绝缘电阻检测功能的测力仪”...
扬宣电子取得抽真空打包装置专利...
国家知识产权局信息显示，扬宣电子（东莞）有限公司取得一项名为“一种抽真空打包装置”的专利，授权公告号...