优盛科技申请共轴双台面LDI曝光机及其工作方法专利,提升了PCB板的曝光精度
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2026-01-08 16:37:22
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国家知识产权局信息显示,优盛科技(苏州)有限公司申请一项名为“一种共轴双台面LDI曝光机及其工作方法”的专利,公开号CN121276893A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本申请公开了一种共轴双台面LDI曝光机及其工作方法,该曝光机的底座上沿Y轴设置第一直线导轨,第一直线导轨能在第一直线电机的驱动下带动相对设置在其两端的A载台和B载台沿第一直线导轨前后独立滑移,A载台和B载台的下方分别设有三自由度微动平台,三自由度微动平台能带动设于其上方的载台沿X轴左右运动、沿Z轴上下运动,以及绕Z轴旋转运动,第一直线电机能将A载台和B载台交替移动至光机镜头组下方的曝光区进行曝光,因此,本申请中的光机固定,消除了因光机移动带来的全部几何误差和动态误差,而三自由度微动平台不仅可补偿载台磨损误差还能调整载台位置辅助对准且能够保证PCB板和曝光区对准重叠,提升了PCB板的曝光精度。

天眼查资料显示,优盛科技(苏州)有限公司,成立于2012年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,优盛科技(苏州)有限公司共对外投资了3家企业,财产线索方面有商标信息2条,专利信息12条,此外企业还拥有行政许可8个。

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来源:市场资讯

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