北方华创申请装卸载腔室及半导体工艺设备专利，有利于提升工艺效果_电池技术

北方华创申请装卸载腔室及半导体工艺设备专利，有利于提升工艺效果

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2026-01-12 10:12:11

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“装卸载腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121310930A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本申请公开一种装卸载腔室及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。装卸载腔室包括腔室本体、晶舟、晶圆传输装置以及密封门装置，密封门装置设置于腔室本体内，以将腔室本体的内部空间隔离为晶舟腔和传输腔，晶舟腔用于容纳晶舟，传输腔用于容纳晶圆传输装置；在密封门装置处于开启状态的情况下，晶舟腔和传输腔连通，以使晶圆传输装置对晶舟取放晶圆；在密封门装置处于关闭状态的情况下，晶舟腔和传输腔断开连通。半导体工艺设备包括晶舟、晶圆传输装置以及上述的装卸载腔室，晶舟用于承载晶圆，晶圆传输装置用于传输晶圆，晶舟位于晶舟腔内，晶圆传输装置位于传输腔内。如此，可避免晶舟传输过程中产生的颗粒扩散至晶舟，有利于提升工艺效果。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1347次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资装卸晶舟华创装置传输导体工艺专利载腔室密封门晶舟腔晶圆

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