永鼎股份申请VCSEL芯片氧化孔道精确控制方法专利，实现对孔道形状与位置的高精度控制
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2026-01-15 23:36:23
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国家知识产权局信息显示，江苏永鼎股份有限公司申请一项名为“一种VCSEL芯片氧化孔道的精确控制方法”的专利，公开号CN121332291A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种VCSEL芯片氧化孔道的精确控制方法，包括计算氧化过程中材料体积收缩导致的收缩应力分布，获得其在氧化孔道不同深度区域的分布参数；模拟收缩应力对氧化孔道形状和位置的影响，得到孔道的预测形变量和位置偏移量；以减小预测形变量和位置偏移量为目标，生成一组优化的氧化工艺参数；根据位置偏移量和收缩应力分布生成补偿后的氧化路径；采用优化的氧化工艺参数和补偿后的氧化路径执行氧化过程，并在氧化过程中实时监测反映应力状态的物理量，动态调整氧化工艺参数。本发明能够通过主动预测应力分布并进行前馈补偿，结合氧化过程的实时反馈调节，实现对孔道形状与位置的高精度、高稳定性控制。
天眼查资料显示，江苏永鼎股份有限公司，成立于1994年，位于苏州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本146199.4802万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏永鼎股份有限公司共对外投资了35家企业，参与招投标项目286次，专利信息737条，此外企业还拥有行政许可90个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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