新凯来申请半导体设备温控系统专利，实现对晶圆处理腔室等关键部件的稳定温度维持_电池技术

新凯来申请半导体设备温控系统专利，实现对晶圆处理腔室等关键部件的稳定温度维持

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2026-01-19 17:08:56

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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“半导体设备的温控系统及温度控制方法、半导体设备”的专利，公开号CN121349217A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种半导体设备的温控系统及温度控制方法、半导体设备，温控系统用于维持半导体设备的部件的温度，其包括液冷结构、主出液流路、主进液流路、冷却控温装置、控温切换部和控制组件。液冷结构被配置为利用冷却液冷却半导体设备的部件；冷却液经由主进液流路流入液冷结构，并经由主出液流路流出液冷结构。冷却控温装置包括第一控温部和第二控温部，第一控温部和第二控温部分别用于输出温度和流量中的至少一个不同的冷却液。控温切换部包括第一出液流路、第一进液流路、第二出液流路和第二进液流路。第一出液流路的一端和第二出液流路的一端均连接主出液流路，第一进液流路的一端和第二进液流路的一端均连接主进液流路。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息198条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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