中国南方电网申请MEMS电容式压力传感器及其制备方法专利，提高压力测试结果的准确性
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2026-01-31 11:42:37
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国家知识产权局信息显示，中国南方电网有限责任公司申请一项名为“MEMS电容式压力传感器及其制备方法”的专利，公开号CN121409499A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请涉及一种MEMS电容式压力传感器及其制备方法。所述MEMS电容式压力传感器包括固定极板、可动极板、压力参考腔和硅基底；固定极板是利用绝缘体上硅SOI晶圆的器件层刻蚀而成；可动极板是利用SOI晶圆的衬底层刻蚀而成；固定极板和可动极板之间的电容间隙是通过腐蚀释放SOI晶圆的埋氧层形成的；压力参考腔为可动极板与硅基底之间的密封腔；可动极板包含位于固定极板侧的凸台结构；可动极板，用于在受到外界向下的压力产生形变时，带动凸台结构向下移动，以调整电容间隙的大小，从而改变可动极板与固定极板之间的电容。采用上述MEMS电容式压力传感器能够提高压力测试结果的准确性。
天眼查资料显示，中国南方电网有限责任公司，成立于2004年，位于广州市，是一家以从事电力、热力生产和供应业为主的企业。企业注册资本9020000万人民币。通过天眼查大数据分析，中国南方电网有限责任公司共对外投资了38家企业，参与招投标项目5000次，财产线索方面有商标信息350条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可66个。
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来源：市场资讯
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