鲁汶仪器取得半导体加工设备及其阀件专利，有利于提高半导体加工设备的加工质量
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2026-02-03 09:12:09
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国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“半导体加工设备及其阀件”的专利，授权公告号CN223868556U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种半导体加工设备及其阀件，阀件包括阀体、阀板和驱动部件；所述阀体包括上腔、下腔和多个阀口，所述上腔通过所述阀口与所述下腔连通；多个所述阀口分为两个阀口组，两个所述阀口组相对第一水平中心线对称布置，每个所述阀口处对应设有一个所述阀板，所述驱动部件用于同步驱动多个所述阀板转动以开启或关闭对应的所述阀口。通过对阀件的结构改进，为提升刻蚀过程中的流场均匀性提供了技术支持，有利于提高半导体加工设备的加工质量。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目258次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息476条，此外企业还拥有行政许可14个。
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来源：市场资讯
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